半导体产业正在蓬勃发展。随着5G、物联网(IoT)、人工智能(AI)、电动汽车、联网医疗设备、工业机器人等下一代技术的出现，对微处理器、存储芯片、平板显示器等半导体产品的需求不断增加。这些技术复杂的应用通常要求更快的处理速度和更低的功耗，需要更复杂的制造工艺。现在许多工艺的制造精度降至10纳米以下，这意味着即使是最小的污染物也会导致产品缺陷和产量损失。这些系统必须可靠地运行以满足需求。润滑剂是确保制造和加工设备功能的必要条件，但错误的润滑剂可能导致计划外的停机时间和污染。维护和停机时间是昂贵的。润滑油防止摩擦和磨损，延长部件寿命，确保系统可靠运行。润滑油脱气和颗粒产生会污染晶圆厂设备和产品，对产品质量和产量产生负面影响。为了避免这些问题，选择具有低排气和低颗粒生成特性的高性能特种润滑脂至关重要。半导体制造和加工设备通常在高温和真空下运行，因此需要高性能润滑剂来保护其线性导轨和滑块，轴承，滚珠丝杠和丝杠以及密封件免受磨损。

 半导体制造和加工设备需要可靠、清洁的润滑油来防止污染、提高产量并减少停机时间。

PFPE脂推荐表：

MAC脂推荐表： 

MAC油推荐表：

酯脂和油

PFPE油脂推荐表：

半导体润滑脂和油类的优点:

NyeTorr®、NyeClean®和NyeVac®是专门为半导体制造和加工设备配制的特种润滑剂。这些低排气半导体润滑剂即使暴露在工艺气体中也具有化学稳定性，使其成为领先的半导体设备oem和制造商的首选。

功能和优势：

A.减少摩擦和磨损

B.延长部件寿命

C.防止污染

D.承受真空条件

E.提高功能和可靠性

F.提高生产线产量

G.避免潜在缺陷

H.增加正常运行时间

选择半导体润滑剂时应考虑哪些特性? 

低出气：当润滑剂排出气体时，它会释放出可冷凝的物质，这些物质会污染硅片、加工设备和其他敏感部件。润滑油脱气测量总质量损失(TML)和收集的挥发性可冷凝物质(CVCM)每ASTM E595。Nye的润滑油远远低于半导体行业确定的可接受的排气限制，TML为1%或更低，CVCM为0.10%或更低。Nye可以收集这些可冷凝物质，并进行残留气体分析(RGA)，以识别从润滑剂中脱落到系统中的物质。

低粒子产生：术语动态粒子生成描述了当污染物被强制或从润滑的滚珠丝杠、轴承或齿轮系统排出到操作环境中时所发生的情况。这些污染物可能包括基础油成分、增稠剂颗粒、添加剂等，并通过滚动、滑动或两者结合的动态机械作用从油脂中释放出来。Nye应用开发和验证测试实验室的工程师开发了一种专有的测试方法和设备，可以测量和量化这些动态条件下的颗粒生成。该测试的结果提供了有价值的数据，可用于开发具有低颗粒生成的特种润滑剂。 

耐高温性能：润滑剂必须能够在高温下保护晶圆厂设备的机械部件而不蒸发。随着蒸汽压的增加，在高温下更容易发生排气。Nye的许多真空和洁净室润滑油的配方可在高达250°C的温度下运行。 

润滑油清洁度等级：真空和洁净室环境中的制造设备是高度敏感的，即使是微小的颗粒也会导致产品失效。确保润滑剂清洁度的最佳方法是通过超滤来消除润滑剂中的微观颗粒。Nye可以超滤油脂和油，以消除半导体应用中可能存在的污染物。

PF0A-Compliance:所有用于半导体行业的Nye产品都使用PTFE, PFOA含量低于重量的0.1%，符合REACH指南和其他国际法规。虽然这项工作不是对每种产品的完整配方进行测量，但分析表明，聚四氟乙烯将是全氟辛酸水平的最重要贡献者。

PFPE与MAC润滑油:PFPE和MAC润滑油都推荐用于真空环境，因为它们的蒸气压低，放气少。与MAC润滑油(高达150°C)相比，PFPE润滑油提供了更好的高温性能(高达250°C)。由于其独特的添加剂包装，与PFPE润滑油相比，MAC润滑油提供了更好的抗磨损保护。这两种化学物质都可以超滤，与塑料和弹性体兼容，并符合PFOA法规。

nytorr vs NyeClean：我们的NyeTorr®和NyeClean®产品是化学稳定，无毒，低蒸汽压的合成润滑剂，适用于半导体元件，如轴承，线性导轨，滚珠丝杠和其他敏感机构。NyeTorr®产品推荐用于暴露在高温下的超高真空应用。NyeClean®产品具有良好的低颗粒生成特性，推荐用于洁净室应用，如后端包装，很少或没有真空。